한국표준과학연구원

회사 소개

KRISS는 1975년 설립 이래 국가측정표준 대표기관으로서 국가 과학기술 발전의 토대를 제공하였으며 중화학공업, 반도체, 조선, 항공, 자동차 등 우리나라의 주력산업 제품의 품질을 국제적 수준으로 향상시키는 데 중추적인 역할을 수행했습니다.

그리고 교정시험서비스의 제공, 중소기업에 대한 기술 지원을 통하여 우리나라 산업의 국가측정표준 품질을 선진국 수준으로 높이는 데 기여하였습니다.

KRISS는 앞으로 ‘세계 최고의 측정 전문 연구기관’, ‘글로벌 선도 측정 연구기관’, ‘국민과 함께하는 연구기관’, ‘청렴윤리 경영을 실천하는 연구기관’, ‘사고 없는 안전한 연구기관’ 으로 거듭나도록 최선의 노력을 다하겠습니다.

제품 소개

1. 반도체 공정용 드라이펌프 종합성능평가 기술 | 2. 진공 소재·부품·장비 기초성능평가 기술개발 | 3. 반도체 식각공정 온실가스 공정모니터링 및 분석기술 | 4. Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축

[기술개요]
1. 반도체 공정용 드라이펌프 종합성능평가 기술
→ 국내 유일의 반도체 공정용 드라이펌프의 배기속도, 소음, 진동 등 특성을 종합적으로 평가할 수 있는 평가시스템 및 평가법 개발

2. 진공 소재·부품·장비 기초성능평가 기술개발
→ 차세대 첨단소자 제조공정용 진공 소재·부품·장비 개발품에 대한 신뢰성 검증, 실증 평가, 시험표준 개발을 통한 기초성능평가 센터 구축

3. 반도체 식각공정 온실가스 공정모니터링 및 분석기술
→ 반도체 식각공정의 온실가스 측정 표준 개발 및 공정/배출 가스 모니터링을 위한 분광센서 네트워크개발

4. Stand-alone 고출력 EUV 검사기 장비 기술 및 EUV 검사기 인프라 구축
→ 초미세 EUV 리소그래피 공정용 핵심 소재·부품인 EUV PR, 펠리클, 반사경, 마스크의 광학적 특성을 정량적으로 평가할 수 있는 독립형 EUV 검사기 장비 구축