파크시스템스 주식회사

회사 소개

파크시스템스는 나노 단위 현미경 제조 및 계측 솔루션을 제공하는 업계 선두기업입니다. 파크시스템스는 Atomic Force Microscopy(AFM), White Light Interferometry(WLI), Nanoinfrared Spectroscopy(NanoIR), Imaging Spectroscopic Ellipsometry(ISE) systems, Active Vibration Isolation(AVI) systems 등 다양한 제품군을 갖추고 있습니다. 최고의 기술과 제품을 추구하는 파크시스템스는 True Non-Contact Imaging, 3D 계측, 완전 자동화 AFM 시스템 등 혁신적인 제품 개발을 통해 학계의 연구와 기업의 기대를 모두 충족하고 있습니다. 특히 파크시스템스 제품은 Scientific Research, Nonoscale Engineering, 반도체 제조 및 품질 보증 분야에서 광범위한 효용성을 인정받고 있습니다.

제품 소개

EUV Mask 결함 자동 계측 및 분석 기반의 AFM 자동 리페어 시스템 개발

원자현미경 기반의 나노머시닝(Nano-machining) 기술을 이용한 차세대 마스크 리페어 장비로, 반도체 최첨단 공정인 포토 마스크에 발생하는 나노미터 크기의 결함 및 파티클을 가장 안전하고 효과적으로 제거할 수 있습니다. Park NX-Mask는 마스크를 위한 듀얼 포드를 지원하며, 마스크 패턴에 발생한 결함 및 파티클의 형상 측정 및 제거, 제거 후 검증까지 모든 과정을 하나의 솔루션으로 완벽하게 제공하여, 고비용의 공정에서 생산원가를 낮추고, 디바이스 수율을 높일 수 있습니다.